| 发明名称 | 钽聚焦环的清洗方法 | ||
| 摘要 | 发明提供一种钽聚焦环的清洗方法，其具有至少两个清洗阶段，包括：第一清洗阶段，使用第一清洗剂对钽聚焦环进行至少一次清洗；第二清洗阶段，使用第二清洗剂对钽聚焦环进行至少一次清洗；其中，所述第一清洗剂为有机溶剂、第二清洗剂为酸性溶液。采用本发明的钽聚焦环的清洗方法，可以充分全面地去除油污、灰尘及杂质等，得到更好的清洗效果。 | ||
| 申请公布号 | CN103628079A | 申请公布日期 | 2014.03.12 |
| 申请号 | CN201210303179.9 | 申请日期 | 2012.08.24 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;侯宇 |
| 分类号 | C23G1/10(2006.01)I;C23G5/032(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23G1/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种钽聚焦环的清洗方法，其特征在于，具有至少两个清洗阶段，包括：第一清洗阶段，使用第一清洗剂对钽聚焦环进行至少一次清洗；第二清洗阶段，使用第二清洗剂对钽聚焦环进行至少一次清洗；其中，所述第一清洗剂为有机溶剂、第二清洗剂为酸性溶液。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 | ||