高分辨力双轴自准直仪系统

摘要

发明涉及几何计量测试技术领域，具体公开了一种高分辨力双轴自准直仪。该系统中反光镜对物镜后组的水平光线反射，射入分光棱镜B及分光棱镜A，并在分光棱镜A的垂直光线通路上设有水平准直分划板、水平聚光镜及水平LED光源，分光棱镜A反射的水平光线通路上设有显微物镜B和垂直安装的第二线阵CCD；分光棱镜B反射的水平光线通路上设有分光棱镜C、显微物镜A以及水平安装的第一线阵CCD，且在分光棱镜C垂直水平面的反射光线通路上依次安装有垂直准直分划板、垂直聚光镜以及垂直LED光源。该系统采用物镜前组和物镜后组，减小准直光路长度，使准直光路的长度小于物镜焦距；同时，采用折叠光路的反射镜，使光学系统的长度尺寸不增加，仅增加宽度。

主权项

一种高分辨力双轴自准直仪系统，其特征在于：该系统包括仪器外壳（14）以及固定在仪器外壳（14）上的物镜组套筒（2），其中，物镜组套筒（2）由前后依次设置的物镜前组（1）和物镜后组（4）组成，仪器外壳（14）内安装有水平LED光源（8）、垂直LED光源（19）、水平准直分划板（10）、垂直准直分划板（17）、分光棱镜A（11）、分光棱镜B（12）、分光棱镜C（16）以及反光镜（13），其中，反光镜（13）对通过物镜后组（4）的水平光线进行反射，形成垂直光线，射入两个依次布置的分光棱镜B（12）以及分光棱镜A（11），并在分光棱镜A（11）的垂直光线通路上依次设有水平准直分划板（10）、水平聚光镜（9）以及水平LED光源（8），分光棱镜A（11）反射的水平光线通路上依次安装有显微物镜B（7）和垂直安装的第二线阵CCD（5）；分光棱镜B（12）反射的水平光线通路上依次安装有分光棱镜C（16）、显微物镜A（6）以及水平安装的第一线阵CCD（3），且在分光棱镜C（16）垂直水平面的反射光线通路上依次安装有垂直准直分划板（17）、垂直聚光镜（18）以及垂直LED光源（19）。