发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 US3464104(A) 申请公布日期 1969.09.02
申请号 USD3464104 申请日期 1967.08.21
申请人 SYLVANIA ELECTRIC PRODUCTS INC. 发明人 RICHARD C. TONNER;NINO P. CERNIGLIA
分类号 H01L21/58;H01L21/60;H01L23/488;H01L23/495;(IPC1-7):B01J17/00;H01L7/00 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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