包含含氟表面活性剂的光阻剥除剂

摘要

发明公开了一种光阻剥除剂，其包含：(a)40重量％-80重量％的单乙醇胺；(b)18重量％-58重量％的N，N-二甲基乙酰胺；和(c)0.001重量％-2重量%的含氟表面活性剂，其中所述重量％基于该光阻剥除剂的总重量。本发明的光阻剥除剂具有可与水完全互溶，对于以铝或铝合金为线路材料的电子组件没有腐蚀性，并且对环境低毒性的优势。此外，本发明还公开了使用本发明的光阻剥除剂去除光阻的方法。

主权项

一种光阻剥除剂，其包含：(a)40重量%‑80重量%的单乙醇胺；(b)18重量%‑58重量%的N，N‑二甲基乙酰胺；和(c)0.001重量%‑2重量%的含氟表面活性剂；其中，所述重量百分比基于所述光阻剥除剂的总重量；所述光阻剥除剂包含少于1重量%的水；和所述光阻剥除剂包含少于1重量%的二元醇醚类溶剂，其中，所述二元醇醚类溶剂选自乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇乙醚和二丙二醇丁醚。