应用于蚀刻液回收过程的有机废气处理系统

摘要

发明公开了一种应用于蚀刻液回收过程的有机废气处理系统，包括内部中空的处理塔，所述处理塔的两端分别设置有进气口和出气口，且出气口设置在进气口的上方；所述处理塔的内部设置有若干个药剂箱，且药剂箱能在处理塔内横向移动，每一个药剂箱的上方均设置有若干个灯管。该系统结构简单，原理简便，通过光催化氧化可直接将空气中的有机废气完全氧化成无毒无害的物质，不留任何二次污染；对臭氧难以氧化的某些有机物都能有效地加以分解；对烃到羧酸的种类众多有机物都有效；使用寿命长，节约了成本和更换频率。

主权项

应用于蚀刻液回收过程的有机废气处理系统，包括内部中空的处理塔（3），所述处理塔（3）的两端分别设置有进气口（7）和出气口（1），且出气口（1）设置在进气口（7）的上方；其特征在于：所述处理塔（3）的内部设置有若干个药剂箱，且药剂箱能在处理塔（3）内横向移动，每一个药剂箱的上方均设置有若干个灯管（5）。