一种具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置

摘要

发明公开了一种具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置，包括偏心轮驱动系统，柔性铰链执行系统，传感器反馈系统和外壳，所述可调狭缝装置由步进电机连接谐波减速器通过膜片联轴器驱动偏心轮轴，所述偏心轮轴安装在偏心轮支座上，所述偏心轮轴中间安装有一个驱动轴承，所述驱动轴承的内圈由锁紧螺母锁定，所述偏心轮轴承与垂直驱动轴连接，所述垂直驱动轴通过垫片上放置的钢球间接接触柔性铰链，所述柔性铰链安装在底座上面，所述柔性铰链上安装有刀口组件及LVDT位移传感器。采用本发明技术方案，保证了所述装置的精度和通光性能，并且结构可靠，稳定性好，同时提高了精度、可靠性和减少了维护。

主权项

一种具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置，包括偏心轮驱动系统，柔性铰链执行系统，传感器反馈系统和外壳，所述可调狭缝装置由步进电机（1）连接谐波减速器（5）通过膜片联轴器（7）驱动偏心轮轴（26），所述偏心轮轴（26）安装在偏心轮支座（23）上，所述偏心轮轴（26）中间安装有一个驱动轴承（25），所述驱动轴承（25）的内圈由锁紧螺母（24）锁定，所述偏心轮轴（26）与垂直驱动轴（31）连接，所述垂直驱动轴（31）通过垫片（34）上放置的钢球（16）间接接触柔性铰链（35），所述柔性铰链（35）安装在底座上面，所述柔性铰链（35）上安装有刀口组件即左刀口架（37）、右刀口架（38）、刀片（39）及LVDT位移传感器（42）。