中小尺寸高精度编码器的精度校核方法及装置

摘要

小尺寸高精度编码器的精度校核装置属于常规仪器精度校核技术领域。现有的编码器精度校核方法是通过金属多面棱体或更高精度的编码器对其进行校核，此两种方法存在安装调试难、结构复杂、通用性弱、性价比低等缺点，难以满足现代技术中对编码器精度的需求，无法精确的实现对高精度编码器的精度校核。本发明之中小尺寸高精度编码器的精度校核装置采用激光双频干涉原理及多齿分度盘技术，对被检测编码器的精度直接进行校核。被检测的编码器通过一套简单的传动机构将运动传递给装载多齿分度盘的分度器上，待被检测编码器转动结束后，多齿分度盘会以相反的方向转动被检测编码器输出的转角值，之后，通过对分度器上表面的反射镜位置进行激光标定，可以得到被检测编码器的转动误差。

主权项

中小尺寸高精度编码器的精度校核方法及装置，其特征在于，采用激光双频干涉原理及多齿分度盘技术，对被检测编码器的精度直接进行校核。