化学过滤器使用寿命的在线检测设备及检测方法

摘要

前化学过滤器在IC，TFT，OLED，PDP等电子厂房普遍采用。但化学过滤器的寿命目前还没合适的现场测试的办法。目前常用的检查方法是分别对化学过滤器的进风口和出风口进行化学气氛的采样，然后对采样的样本拿到实验室进行分析。如果分析的结果显示进风口和出风口的化学气氛的浓度基本上没变化了，就说明该达到了化学过滤器的使用寿命。但是，这种检测方式不能进行在线检测，并且检测成本高、周期长并且需要使用昂贵的实验分析仪器。本发明的目的就在于针对现有技术中的不足，提供一种检测成本低、实时性好、使用便捷、操作简单的化学过滤器寿命检测设备以及使用该设备的检测方法。

主权项

一种化学过滤器使用寿命的在线检测设备，其特征在于：该设备包括测试头、气泵和气压测试仪，所述设备不是直接测量通过过滤器的气体流量，来检测过滤器的使用寿命，而是通过测量定容容器内压力的变化来推导出漏出定容设备的气体的标况下的流量，利用化学过滤器的饱和程度与通风性能的关系来实现寿命检测的工作原理设计。