使用动态射束阵列的光子铣削

摘要

种激光处理系统，包含一射束定位系统以相对于一工件对齐射束投送坐标。上述的射束定位系统产生对应于该对齐的定位数据。此系统亦包含一脉冲激光源以及一子束产生模块以自该脉冲激光源接收一激光脉冲。子束产生模块自该激光脉冲产生一子束阵列。该子束阵列包含多个子束脉冲。此系统更进一步包含一子束调变器以选择性地调变该子束阵列中每一子束脉冲的振幅，以及子束投送光学模块以将调变后的子束阵列聚焦至工件上对应至上述定位数据的位置的一或多个标的。

主权项

一种激光处理系统，其特征在于，包含：一射束定位系统，以相对于一工件对齐射束投送坐标，该射束定位系统产生对应于该对齐的定位数据；一脉冲激光源；一子束产生模块，以接收来自该脉冲激光源的一激光脉冲，且自该激光脉冲产生一包含多个子束脉冲的子束阵列；一子束调变器，以调变该子束阵列中每一子束脉冲的振幅；以及子束投送光学模块，以将调变后的该子束阵列聚焦至该工件上对应至该定位数据的位置的一或多个标的；其中，该子束产生模块包含一离散频带反射板，该离散频带反射板包含：一第一表面，包含一第一多个个别反射带状区域；以及一第二表面，包含一第二多个个别反射带状区域，其中该第一表面用以：接收进入该离散频带反射板的该激光脉冲；以及连续地将接收自该第二表面的激光脉冲的逐渐减小的部分朝着该第二表面反射回该离散频带反射板；且其中该第二表面用以：连续地传送接收自该第一表面的激光脉冲的该逐渐减小的部分之一第一部分并反射其中的一第二部分，该传送的第一部分对应至该子束阵列中的个别子束脉冲。