| 主权项 |
一种多晶硅断裂强度的在线测试结构，其特征在于，包括第一测试单元、第二测试单元、第三测试单元和绝缘衬底，所述第一测试单元、第二测试单元和第三测试单元设置在绝缘衬底上；所述第一测试单元包括第一对固定锚区（C‑C）、第一独立锚区（D）、第一多晶硅接触块（101）、第一多晶硅指针（102）和第一多晶硅膨胀条（103），其中：第一对固定锚区（C‑C）和第一独立锚区（D）分别固定在绝缘衬底上，第一多晶硅膨胀条（103）的两端分别固定在第一对固定锚区（C‑C）上，第一多晶硅指针（102）的一端固定在第一多晶硅膨胀条（103）中间，另一端悬空，第一多晶硅接触块（101）位于第一多晶硅指针（102）的悬空端且固定在第一独立锚区（D）上，第一多晶硅接触块（101）、第一多晶硅指针（102）和第一多晶硅膨胀条（103）分别悬空；第二测试单元包括第二对固定锚区（E‑E）、第二独立锚区（F）、第二多晶硅接触块（201）、第二多晶硅指针（202）和第二多晶硅膨胀条（203），其中：第二对固定锚区（E‑E）和第二独立锚区（F）分别固定在绝缘衬底上，第二多晶硅膨胀条（203）的两端分别固定在第二对固定锚区（E‑E）上，第二多晶硅指针（202）的一端固定在第二多晶硅膨胀条（203）中间，另一端悬空，第二多晶硅接触块（201）位于第二多晶硅指针（202）的悬空端且固定在第二独立锚区（F）上，第二多晶硅接触块（201）、第二多晶硅指针（202）和第二多晶硅膨胀条（203）分别悬空，第一多晶硅指针（102）比第二多晶硅指针（202）短；第三测试单元包括第三对固定锚区（G‑G）、第三独立锚区（H）、多晶硅驱动梁（301）和多晶硅断裂条（302）；其中：第三对固定锚区（G‑G）和第三独立锚区（H）分别固定在绝缘衬底上，多晶硅驱动梁（301）的两端分别固定在第三对固定锚区（G‑G）上，多晶硅断裂条（302）的一端固定在多晶硅驱动梁（301）的中间，另一端固定在第三独立锚区（H），多晶硅驱动梁（301）和多晶硅断裂条（302）分别悬空；所述第一多晶硅膨胀条（103）包括第一左支条（104）和第一右支条（105），第一左支条（104）和第一右支条（105）的一端分别固定在第一对固定锚区（C‑C）上，另一端相互搭接，第一右支条（105）位于第一左支条（104）之上，第一左支条（104）和第一右支条（105）上分别设有第一狭长部位（106），第一多晶硅 指针（102）固定在第一左支条（104）和第一右支条（105）搭接处，第一多晶硅接触块（101）位于第一多晶硅指针（102）的左侧；所述第二多晶硅膨胀条（203）包括第二左支条（204）和第二右支条（205），第二左支条（204）和第二右支条（205）的一端分别固定在第二对固定锚区（E‑E）上，另一端相互搭接，第二右支条（205）位于第二左支条（204）之上，第二左支条（204）和第二右支条（205）上分别设有第二狭长部位（206），第二多晶硅指针（202）固定在第二左支条（204）和第二右支条（205）搭接处，第二多晶硅接触块（201）位于第二多晶硅指针（202）的左侧；所述多晶硅驱动梁（301）的两端为驱动臂（303），驱动臂（303）分别与第三对固定锚区（G‑G）相连；第二测试单元和第一测试单元除了多晶硅指针的长度不同，其他结构和尺寸特征完全一致。 |
