发明名称 微机电系统声压感测元件及其制作方法
摘要
申请公布号 TWI430424 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW100109392 申请日期 2011.03.18
申请人 原相科技股份有限公司 新竹市新竹科学园区创新一路5号5楼 发明人 王传蔚
分类号 H01L23/58;H01L29/84 主分类号 H01L23/58
代理机构 代理人 任秀妍 新竹市光复路2段481号9楼
主权项
地址 新竹市新竹科学园区创新一路5号5楼