发明名称 |
使用定向剥离作用制造绝缘体上半导体结构之方法及装置 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI430338 |
申请公布日期 |
2014.03.11 |
申请号 |
TW098136605 |
申请日期 |
2009.10.28 |
申请人 |
康宁公司 美国 |
发明人 |
希瑞强恩 萨库;希提 节福利史考特;康拉得 洁米葛力;马梅而 里查欧;莫耳 米其强;优甚库 亚伦 |
分类号 |
H01L21/265;H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |