发明名称 蒸镀装置、蒸镀方法及已记忆程式之记忆媒体
摘要
申请公布号 TWI429772 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW098132810 申请日期 2009.09.29
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 生田浩之;江面知彦;鎌田丰弘
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人 林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址 日本