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发明名称 互连多元件晶格研磨垫
摘要
申请公布号 TWI429502 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW097130484 申请日期 2008.08.11
申请人 罗门哈斯电子材料ＣＭＰ控股公司 美国 发明人 江柏;莫唐尼　葛列格里Ｐ
分类号 B24B37/24 主分类号 B24B37/24
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址 美国
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