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发明名称 负压控制装置
摘要
申请公布号 TWM474249 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW102222512 申请日期 2013.11.29
申请人 均华精密工业股份有限公司 新北市土城区民生街2之1号 发明人 许鸿铭;姜智元;张木庆
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人 林坤成 台北市信义区松德路171号2楼;刘纪盛 台北市信义区松德路171号2楼
主权项
地址 新北市土城区民生街2之1号
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