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发明名称 高频电源装置及高频功率供给方法
摘要
申请公布号 TWI430715 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW096132839 申请日期 2007.09.04
申请人 巴尔工业股份有限公司 日本;中微半导体设备（亚洲）有限公司 英国 发明人 早野英一;中村刚;前川泰范;饭塚浩;陈金元
分类号 H05H1/44 主分类号 H05H1/44
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址 英国
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