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发明名称 正型光阻组成物及使用此正型光阻组成物之图案形成方法
摘要
申请公布号 TWI430030 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW095141104 申请日期 2006.11.07
申请人 富士软片股份有限公司 日本 发明人 岩户薰;儿玉邦彦
分类号 G03F7/039;C08F22/20;C08F22/22;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项
地址 日本
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