发明名称 具有反射式镀膜的镜像元件之投影物镜
摘要
申请公布号 TWI430044 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW096145918 申请日期 2007.12.03
申请人 卡尔蔡司SMT有限公司 德国 发明人 詹丹尼;马翰司
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 李宗德 台北市大安区敦化南路2段218号5楼A区
主权项
地址 德国