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发明名称 奈米线之制造方法及其半导体元件
摘要
申请公布号 TWI430355 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW099143262 申请日期 2010.12.10
申请人 财团法人国家实验研究院 台北市大安区和平东路2段106号3楼 发明人 林家毅;陈旻政;陈豪育
分类号 H01L21/306;H01L29/06 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人 林火泉 台北市大安区忠孝东路4段311号12楼之1
主权项
地址 台北市大安区和平东路2段106号3楼
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