发明名称 研磨材料
摘要
申请公布号 TWI429736 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW099137733 申请日期 2010.11.03
申请人 三井金属鑛业股份有限公司 日本 发明人 堀内干正;黑田龙太郎;山口靖英
分类号 C09K3/14;B24B37/11;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址 日本