发明名称 磊晶矽晶圆的制造方法
摘要
申请公布号 TWI430336 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW099127772 申请日期 2010.08.19
申请人 胜高股份有限公司 日本 发明人 中吉雄一;西村弘德
分类号 H01L21/20;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 日本