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经营范围
发明名称
真空汽相沉积装置
摘要
申请公布号
TWI429783
申请公布日期
2014.03.11
申请号
TW099118925
申请日期
2010.06.10
申请人
三菱重工业股份有限公司 日本
发明人
柳雄二
分类号
C23C16/54
主分类号
C23C16/54
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
日本
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