发明名称 真空汽相沉积装置
摘要
申请公布号 TWI429783 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW099118925 申请日期 2010.06.10
申请人 三菱重工业股份有限公司 日本 发明人 柳雄二
分类号 C23C16/54 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本