发明名称 蚀刻矽晶圆边缘的方法
摘要
申请公布号 TWI430348 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW098110667 申请日期 2009.03.31
申请人 MEMC电子材料公司 美国 发明人 厄克 亨利F;亚伯查特 彼得;贺蓝德 吉恩;多恩 汤玛士E;史区密特 茱蒂斯;凡戴姆 罗兰德R;张国强(大卫)
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国