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经营范围
发明名称
蚀刻矽晶圆边缘的方法
摘要
申请公布号
TWI430348
申请公布日期
2014.03.11
申请号
TW098110667
申请日期
2009.03.31
申请人
MEMC电子材料公司 美国
发明人
厄克 亨利F;亚伯查特 彼得;贺蓝德 吉恩;多恩 汤玛士E;史区密特 茱蒂斯;凡戴姆 罗兰德R;张国强(大卫)
分类号
H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
美国
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