发明名称 电路图案检查装置及其方法
摘要
申请公布号 TWI429924 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW101146840 申请日期 2006.01.19
申请人 OHT股份有限公司 日本 发明人 羽森宽;山冈秀嗣;石冈圣悟
分类号 G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项
地址 日本