| 发明名称 |
电浆处理腔之喷撒头组件及电浆处理腔之喷撒头组件之气体电离板之制备方法 |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
TWI430714 |
申请公布日期 |
2014.03.11 |
| 申请号 |
TW099135138 |
申请日期 |
2010.10.14 |
| 申请人 |
沃博提克ＬＴ太阳公司 美国 |
发明人 |
罗 金 Ｓ;丰岛正人;布洛尼冈 文岱 多马;康 琳;罗鲁彬 Ｋ Ｆ |
| 分类号 |
H05H1/24;H01L21/3065;C23C16/50 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
徐宏昇 台北市中正区忠孝东路1段83号20楼之2;李纪颖 台北市中正区忠孝东路1段83号20楼之2;李奕璇 台北市中正区忠孝东路1段83号20楼之2 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
美国 |
