发明名称 热处理炉及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI430696 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW096135601 申请日期 2007.09.21
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 中尾贤;山贺健一;小林诚
分类号 H05B3/66;H01L21/205;H05B3/64 主分类号 H05B3/66
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本