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经营范围
发明名称
热处理炉及其制造方法
摘要
申请公布号
TWI430696
申请公布日期
2014.03.11
申请号
TW096135601
申请日期
2007.09.21
申请人
东京威力科创股份有限公司 日本
发明人
中尾贤;山贺健一;小林诚
分类号
H05B3/66;H01L21/205;H05B3/64
主分类号
H05B3/66
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
日本
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