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发明名称 用于携带电弧侦测旗标及更新槛值的具有多位置电弧槛值比较器及通讯通道的电浆反应器系统
摘要
申请公布号 TWI430319 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW097130888 申请日期 2008.08.13
申请人 应用材料股份有限公司 美国 发明人 皮皮顿约翰;纳诺盖奇里安
分类号 H01J37/302;H01L21/02 主分类号 H01J37/302
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 美国
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