微影装置及元件制造方法,申请号TW100102145-传众专利搜索

发明名称	微影装置及元件制造方法
摘要
申请公布号	TWI430050	申请公布日期	2014.03.11
申请号	TW100102145	申请日期	2011.01.20
申请人	ＡＳＭＬ荷兰公司荷兰	发明人	迪瑞克　丹尼尔　约瑟夫　马利亚;优莫林　艾瑞克　亨瑞库司　艾居迪司　卡萨瑞纳;凡　德　唐真　赛曼斯　裘汉纳斯　葛瑞德斯;史屈普斯　梅克尔　阿德里阿奴斯　克尔内里斯;苏雷波夫　塞尔杰;穆德　派得;贝瑟斯　大卫;巴瑞格纳　马可
分类号	G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人	陈长文台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址	荷兰

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