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发明名称
可用于制造三维多重闸极金属氧化层半导体场效电晶体(MOSFETS)之大块矽晶圆产物
摘要
申请公布号
TWI430445
申请公布日期
2014.03.11
申请号
TW098128877
申请日期
2009.08.27
申请人
MEMC电子材料公司 美国
发明人
希奎斯特 麦可R
分类号
H01L29/78;H01L21/20;H01L21/3065
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
美国
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