发明名称 可用于制造三维多重闸极金属氧化层半导体场效电晶体(MOSFETS)之大块矽晶圆产物
摘要
申请公布号 TWI430445 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW098128877 申请日期 2009.08.27
申请人 MEMC电子材料公司 美国 发明人 希奎斯特 麦可R
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/3065 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国