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Endblock-Anordnung (100) zum Behandeln von Substraten in einem Vakuum, aufweisend,–mindestens einen Endblock (116) zum drehbaren Lagern mindestens einer rohrförmigen Elektrode in einer Vakuumkammer,–ein an den mindestens einen Endblock (116) montierbares erstes Abdeck-Element (104) und ein an den mindestens einen Endblock montierbares zweites Abdeck-Element (102), wobei das erste Abdeck-Element (104) und das zweite Abdeck-Element (102) derart eingerichtet sind, dass diese im montierten Zustand den mindestens einen Endblock (116) zumindest teilweise abdecken,–wobei das erste Abdeck-Element (104) eine Gewindebohrung (118) aufweist und wobei das zweite Abdeck-Element eine Durchgangsöffnung (112) aufweist;–wobei das erste Abdeck-Element (104) und das zweite Abdeck-Element (102) im montierten Zustand derart formschlüssig ineinandergreifen und die Gewindebohrung (118) und die Durchgangsöffnung (112) des zweiten Abdeck-Elements (102) derart angeordnet sind,–dass eine in die Gewindebohrung (118) eingeschraubte Schraube (120) von dem zweiten Abdeck-Element (102) zumindest teilweise überdeckt wird, und–dass die in die Gewindebohrung (118) eingeschraubte Schraube durch die Durchgangsöffnung (112) des zweiten Abdeck-Elements (102) zugänglich ist. |
