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Eine Verdampferzelle (100) umfasst einen ersten Tiegel (10) mit einer Tiegelwand (11), wobei der erste Tiegel (10) zur Aufnahme von Verdampfungsmaterial und zur Verdampfung des Verdampfungsmaterials eingerichtet ist und die Tiegelwand (12) durchgehende Hohlräume (14) aufweist. Es werden auch eine Beschichtungsvorrichtung (200), die mit mindestens einer derartigen Verdampferzelle (100) ausgestattet ist, und ein Verfahren zur Verdampfung eines Verdampfungsmaterial beschrieben. |
