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<p>Es wird vorgeschlagen, die Sensorfunktionen eines Drucksensors (11), eines Temperatursensors (12) und eines Feuchtesensors (13) sowie eine Auswerteschaltung (14) für diese Sensorkomponenten (11, 12, 13) in einem Sensorbauteil (200) zu integrieren, wobei zumindest die Drucksensorkomponente (11) in einem MEMS-Bauelement (20) realisiert ist und das Gehäuse (27) des Sensorbauteils (200) mindestens eine Medienzugangsöffnung (28) für die Sensorkomponenten (11, 13) aufweist.</p> |
