发明名称 Composition and method for preparing pattern on a substrate
摘要 A copolymer composition and a method of processing a substrate to form line space features thereon are provided.
申请公布号 US2014061155(A1) 申请公布日期 2014.03.06
申请号 US201213601183 申请日期 2012.08.31
申请人 GU XINYU;CHANG SHIH-WEI;SHARMA RAHUL;GINZBURG VALERIY;HUSTAD PHILLIP;WEINHOLD JEFFREY;TREFONAS PETER;DOW GLOBAL TECHNOLOGIES LLC.;ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC. 发明人 GU XINYU;CHANG SHIH-WEI;SHARMA RAHUL;GINZBURG VALERIY;HUSTAD PHILLIP;WEINHOLD JEFFREY;TREFONAS PETER
分类号 C09D153/00 主分类号 C09D153/00
代理机构 代理人
主权项
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