发明名称 Abdeckung zum Schützen von Solarzellen während deren Herstellung
摘要 Ein entfernbares Abdecksystem zum Schützen eines Solarzellensubstrats bei einem Herstellungsvorgang. Das Abdecksystem weit eine Abdeckung auf, deren Konfiguration der des in einer Vorrichtung behandelt wird, in der Dampf vorhanden ist Solarzellensubstrate komplementär ist. Ein nachgiebig deformierbares Dichtelement, das an die Abdeckung angebracht ist, ist mit der Abdeckung positionierbar, und dichtet die Oberfläche des Substrats. Bei einem Ausführungsbeispiel ist die Abdeckung derart dimensioniert und angeordnet, dass das Abdeckelement die umlaufenden Kanten und Ecken des Substrats abdichtet, so dass das Eindringen von Dampf unter die Abdeckung verhindert wird. Weiter werden eine Vorrichtung zum Herstellen einer Solarzelle unter Verwendung der Abdeckung und das entsprechende Verfahren offenbart.
申请公布号 DE102013105520(A1) 申请公布日期 2014.03.06
申请号 DE201310105520 申请日期 2013.05.29
申请人 TSMC SOLAR LTD. 发明人 HUANG, CHIH-WEI;CHI, KENG-HSIN;LIN, CHIEN-NAN;WEI, HUA-TSO
分类号 H01L21/67;H01L31/18 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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