| 发明名称 | 缺陷检查装置和缺陷检查方法 | ||
| 摘要 | 本发明所涉及的缺陷检查装置用于检测形成于面板的配线的缺陷位置，具备：探测器，其对上述配线的端子部施加电压；探测器移动机构，其使上述探测器移动到上述端子部；第一红外传感器，其拍摄上述面板的整个面；第二红外传感器，其拍摄上述面板的局部；以及传感器移动机构，其使上述第二红外传感器移动到上述面板的各个位置，上述第一红外传感器包括多个红外照相机。 | ||
| 申请公布号 | CN103620482A | 申请公布日期 | 2014.03.05 |
| 申请号 | CN201280029756.8 | 申请日期 | 2012.05.18 |
| 申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 柳濑正和 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01)I;G01N25/72(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人 | 权鲜枝 |
| 主权项 | 一种缺陷检查装置，用于检测形成于面板的配线的缺陷位置，其特征在于，具备：探测器，其对上述配线的端子部施加电压；探测器移动机构，其使上述探测器移动到上述端子部；第一红外传感器，其拍摄上述面板的整个面；第二红外传感器，其拍摄上述面板的局部；以及传感器移动机构，其使上述第二红外传感器移动到上述面板的各个位置，上述第一红外传感器包括多个红外照相机。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||