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发明名称
摘要
申请公布号
JP5434317(B2)
申请公布日期
2014.03.05
申请号
JP20090161572
申请日期
2009.07.08
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;C23C16/24
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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