一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法

摘要

本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加沉积效率。

主权项

一种微型开放式可扩展原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头（101），所述单元喷头包括高压气流入口（201），惰性隔离气体入口通道（206），出气口通道（203，205），两种前驱体入口通道（202，204），其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置；其中，所述一种前驱体入口通道（202）为两个，位于一个另一种前驱体入口通道（204）的两侧，从而形成三个子沉积区F3；所述高压气流入口（201）由一组节流小孔组成，从而形成高压悬浮支撑区F1；所述三个沉积区F3各个区域中间分别由惰性隔离气体入口通道（206）喷出的惰性气体形成的隔离区F2隔离，所述悬浮支撑区、隔离区、沉积区三部分的气流通量与流速大小关系为F1>F2>F3。