基板切割面辅助检测治具

摘要

基板切割面辅助检测治具包括底板和第一反射元件。底板包括承载面，承载面具有基板承载区域，基板承载区域具有第一侧边。第一反射元件设置于承载面上，位于基板承载区域外并靠近第一侧边。第一反射元件具有朝向基板承载区域的第一反射面，且第一反射面与承载面具有第一夹角。基板切割面辅助检测治具用于承载待检测基板，并配合显微镜简单方便的对待检测基板的切割面进行检测，有利于节约成本，并有利于检测切割面的真实切割情况。

主权项

一种基板切割面辅助检测治具，其特征在于，该检测治具包括：底板，包括承载面，该承载面具有基板承载区域，该基板承载区域具有第一侧边；以及第一反射元件，设置于该承载面上，位于该基板承载区域外并靠近该第一侧边，该第一反射元件具有朝向该基板承载区域的第一反射面，且该第一反射面与该承载面具有第一夹角。