LED氮化镓生产炉废氨气回收装置

摘要

本实用新型公开了一种LED氮化镓生产炉废氨气回收装置，它包括缓冲罐、过滤器、汽化器、冷凝器、精馏塔和高位槽，其特征是所述的过滤器共有两个，所述的冷凝器共有三个，所述的汽化器共有两个；所述的缓冲罐左侧设有废氨气管路，缓冲罐顶部出口与一级过滤器一端相连；所述的一级过滤器的另一端与二级过滤器相连，二级过滤器出口与冷凝器Ⅰ入口相连，冷凝器Ⅰ上端连有放空管路，下端出口与汽化器Ⅰ左侧入口相连；汽化器Ⅰ右侧中部与冷凝器Ⅱ相连；冷凝器Ⅱ上端连有放空管路，下端出口与汽化器Ⅱ左侧入口相连，所述的汽化器Ⅱ底部连有排污管路，顶部设有精馏塔，精馏塔顶部出口与冷凝器Ⅲ相连。该装置消除了环境污染，实现了废氨气的循环利用，节约了成本。

主权项

一种LED氮化镓生产炉废氨气回收装置，它包括缓冲罐、过滤器、汽化器、冷凝器、精馏塔和高位槽，其特征是所述的过滤器共有两个分别是一级过滤器和二级过滤器，所述的冷凝器共有三个分别是冷凝器Ⅰ、冷凝器Ⅱ、冷凝器Ⅲ，所述的汽化器共有两个分别是汽化器Ⅰ和汽化器Ⅱ；所述的缓冲罐左侧设有废氨气管路，缓冲罐顶部出口与一级过滤器一端相连；所述的一级过滤器的另一端与二级过滤器相连，二级过滤器出口与冷凝器Ⅰ入口相连，冷凝器Ⅰ上端连有放空管路，下端出口与汽化器Ⅰ左侧入口相连；汽化器Ⅰ右侧中部与冷凝器Ⅱ相连；冷凝器Ⅱ上端连有放空管路，下端出口与汽化器Ⅱ左侧入口相连，所述的汽化器Ⅱ底部连有排污管路，顶部设有精馏塔，精馏塔顶部出口与冷凝器Ⅲ相连，冷凝器Ⅲ上端连有放空管路，下端出口与高位槽相连，高位槽底部与精馏塔相连，精馏塔，冷凝器Ⅲ与高位槽组成一个回流系统；高位槽中部设有成品氨管路，与氨气成品罐相连。