表面测量系统以及方法

摘要

表面测量方法包括在二维中对多个第一不规则工件表面样品进行观测，并根据上述样品的观测，确定多个样品的每一个上的表面波峰总数，以及通过在多个样品的每一个上的表面波峰总数的统计变量得出控制范围。针对第二不规则工件表面上的表面波峰总数，所述的控制范围指出了一种超出公差的情况。本方法进一步包括对二维中第二不规则工件表面的一部分进行观测，根据对第二不规则工件表面的一部分的观测，确定在所述部分上表面波峰总数，并且将所述第二不规则工件表面的一部分上的表面波峰总数与控制范围相比较，从而确定第二不规则工件表面是否是在超出公差的情况中。

主权项

一种表面测量方法，包括：对二维中多个第一不规则工件表面样品进行观测，多个样品的每一个具有基本相同的尺寸；根据上述样品的观测，确定在多个样品的每一个上的表面波峰总数；通过在多个样品的每一个上的表面波峰总数的统计变量得出控制范围，所述的控制范围用于指出在第二不规则工件表面上的表面波峰总数超出公差的情况；对二维中第二不规则工件表面的一部分进行观测，该部分具有与多个样品其中之一基本相同的尺寸；根据第二不规则工件表面的一部分的观测，确定在该部分上的表面波峰总数；以及将所述第二不规则工件表面的一部分上的表面波峰总数与控制范围相比较，从而确定第二不规则工件表面是否处于超出公差的情况中。