发明名称 |
基于光刻胶的临时键合及去键合的方法 |
摘要 |
本发明是一种基于光刻胶(ProLIFT100)的临时键合及去键合的方法,其特征是包括临时键合及去键合。优点是:GaAs、GaN等化合物半导体晶圆加工的一些关键工艺如背面金属化、背面通孔的刻蚀等步骤在200摄氏度以上高温下进行可获得更好的效果,而ProLIFT100能够耐受超过300摄氏度的高温,可以同时起到圆片正面图形保护和粘片粘附剂的作用,因此非常适合在半导体背面工艺中用于与载片的临时键合。另外利用旋涂甩胶的方式进行键合过渡层的涂敷,平整度和均匀性都非常好,工艺简单、重复性好;并且整个过程不会对临时载片造成磨损、沾污等伤害,可以循环使用;去键合过程简单易行,不需要外加机械力的作用,能够大大减少碎片的概率。 |
申请公布号 |
CN103617944A |
申请公布日期 |
2014.03.05 |
申请号 |
CN201310491592.7 |
申请日期 |
2013.10.21 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
发明人 |
赵岩;程伟;吴璟 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
南京君陶专利商标代理有限公司 32215 |
代理人 |
沈根水 |
主权项 |
一种基于光刻胶(ProLIFT100)的临时键合及去键合的方法,其特征是包括临时键合及去键合,其中临时键合的步骤,包括1)用质量浓度为10%的盐酸清洗半导体圆片和临时载片表面,再用去离子水进行冲洗,去除表面沾污,然后放入烘箱烘干圆片表面的水分,保证圆片表面干爽无污染,临时载片是玻璃片或蓝宝石;2)在半导体圆片和临时载片的正面分别旋涂光刻胶(ProLIFT100)作为临时键合过渡层,转速1000rpm‑5000rpm,时间为60秒;3)保持半导体圆片和临时载片的正面朝上,在烘箱中烘烤30分钟,烘箱温度应不低于220摄氏度;4)待半导体圆片和临时载片在室温下自然冷却后,将半导体圆片和临时载片正面相对在温度为250摄氏度、真空度小于5mbar、压力大于4000N的条件下进行粘片;去键合方法,包括以下步骤:1)清洗半导体圆片和临时载片表面;2)将圆片浸泡在正性显影液中;3)待光刻胶(ProLIFT100)溶解后半导体圆片和临时载片将自动分离;4)将半导体圆片小心夹起并清洗干净。 |
地址 |
210016 江苏省南京市中山东路524号 |