| 发明名称 | 晶圆电镀的挂具 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆电镀的挂具，其包括上盖、下板、金属导电环，所述上盖内壁设有内螺纹；所述下板上设有晶圆槽，所述晶圆槽的中部开设有电镀孔；所述晶圆槽的外壁设有外螺纹，与所述内螺纹啮合；所述晶圆槽的内壁与所述电镀孔之间设置有平台，所述金属导电环设置于该平台上。本实用新型晶圆电镀的挂具的上盖采用旋转方式锁紧，不用螺丝人工装卸，操作方便，力度均匀，导电性、密封性能好，所得晶圆镀层均匀，大大节省人力和晶圆报废风险。 | ||
| 申请公布号 | CN203462153U | 申请公布日期 | 2014.03.05 |
| 申请号 | CN201320563447.0 | 申请日期 | 2013.09.11 |
| 申请人 | 深圳市创智成功科技有限公司 | 发明人 | 王江锋;陈建平;汪文珍;杨明;饶荣承 |
| 分类号 | C25D17/08(2006.01)I | 主分类号 | C25D17/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 万志香;曾凤云 |
| 主权项 | 一种晶圆电镀的挂具，其特征在于，包括上盖、下板、金属导电环，所述上盖内壁设有内螺纹； 所述下板上设有晶圆槽，所述晶圆槽的中部开设有电镀孔； 所述晶圆槽的外壁设有外螺纹，与所述内螺纹啮合； 所述晶圆槽的内壁与所述电镀孔之间设置有平台，所述金属导电环设置于该平台上。 | ||
| 地址 | 518103 广东省深圳市宝安区福永街道塘尾富源工业区一区B2幢（1楼C、2楼北） | ||