| 发明名称 | 一种热偶升降装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开了一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接，所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。本实用新型热偶升降装置可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便。 | ||
| 申请公布号 | CN203465015U | 申请公布日期 | 2014.03.05 |
| 申请号 | CN201320471430.2 | 申请日期 | 2013.08.02 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 郝琪;林欣家;董金卫 |
| 分类号 | G01K1/14(2006.01)I;G01K7/02(2006.01)I;C30B31/00(2006.01)I | 主分类号 | G01K1/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 韩国胜 |
| 主权项 | 一种热偶升降装置，包括热偶支撑架（1），调整热偶支撑架（1）高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，其特征在于，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台（3）上，所述支撑腿为三个连杆（4），所述连杆（4）一端与所述支撑动平台（3）可转动连接，所述连杆（4）的另一端与传动部件可转动连接。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层 | ||