发明名称 Improvements in or relating to Devices for the Heat-Treatment of Plate-like Semiconductor Bodies
摘要
申请公布号 GB1181935(A) 申请公布日期 1970.02.18
申请号 GB19680016764 申请日期 1968.04.08
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 C23C16/46;C30B25/12 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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