发明名称 | 一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法,包括如下步骤:1)对表面含有浮雕微纳米结构的原始母板进行表面防粘处理;2)将巯基-烯材料均匀涂覆在步骤1)中的经过防粘处理的原始母板;3)将一块透明的弹性胶质材料覆盖在步骤2)中的巯基-烯材料上;4)利用紫外光对巯基-烯材料进行固化;5)固化成型后,将巯基-烯材料结构层和弹性胶质材料组成的复合微纳米结构与步骤1)中的原始母板分离;6)对步骤5)中的复合微纳米结构进行表面防粘处理,制备获得紫外光固化软印刷复合模板。本发明的显著特点是制作成本低廉,工艺简单,分辨率高,制备过程无需刻蚀和高真空条件,促进了软印刷技术在微纳结构加工领域的广泛应用。 | ||
申请公布号 | CN103616796A | 申请公布日期 | 2014.03.05 |
申请号 | CN201310655163.9 | 申请日期 | 2013.12.08 |
申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 邓启凌;张满;史立芳;胡松;秦燕云;曹阿秀 |
分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 杨学明;孟卜娟 |
主权项 | 一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法,其特征在于包括以下步骤:(1)获取表面含有浮雕微纳米结构的硅、石英或二氧化硅原始母板,并对母板进行表面防粘处理;(2)配制杨氏模量大于50MPa的巯基‑烯材料;(3)将步骤(2)中配制的巯基‑烯材料均匀涂覆在步骤(1)中经过处理的原始母板上;(4)获取一块用弹性胶质材料制备的柔性基板,轻轻地覆盖在步骤(3)中的巯基‑烯材料上;(5)放置在紫外光下固化;(6)固化成型后,将由巯基‑烯材料结构层和柔性基板组成的复合结构从原始母板上剥离下来;(7)对步骤(6)中的复合结构进行与步骤(1)中相同的表面防粘处理,获得可用于紫外光固化软印刷技术的柔性复合模板。 | ||
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