发明名称 | 表面样品收集工具 | ||
摘要 | 一种用于从基板(112)去除表面部分的采样装置(10)。所述装置包括框架结构(16)和刀具头组件(12)。刀具头组件(12)包含:枢轴体(32),具有支撑在框架结构上的枢轴点(108)处的第一端(42);以及刀具,绕旋转轴线旋转地支撑在枢轴体(32)的第二端(46)处。刀具具有半椭圆形形状(70),并且驱动电机可活动地连接到刀具(70)。枢轴点(108)相对于旋转轴线(AB)间隔定位。刀具(70)是可操作的,以绕枢轴点(108)在枢转运动期间切削基板(112)的表面部分。 | ||
申请公布号 | CN103620368A | 申请公布日期 | 2014.03.05 |
申请号 | CN201280028853.5 | 申请日期 | 2012.03.29 |
申请人 | 西门子能量股份有限公司 | 发明人 | M.R.文德勒;R.H.洛维特 |
分类号 | G01N1/04(2006.01)I | 主分类号 | G01N1/04(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 曲莹 |
主权项 | 一种用于从基板去除表面部分的采样装置,所述装置包括:框架结构;刀具头组件,所述刀具头组件包括:枢轴体,具有支撑在所述框架结构上的枢轴点处的第一端;刀具,绕旋转轴线旋转地支撑在所述枢轴体的第二端处,所述刀具包括通过旋转具有圆形切削端的锥体而限定的形状;驱动电机,可活动地连接到所述刀具;以及所述枢轴点相对于所述旋转轴线间隔定位,并且所述刀具是可操作的,以绕所述枢轴点在枢转运动期间切削基板的表面部分。 | ||
地址 | 美国佛罗里达州 |