一种蚀刻方法

摘要

本发明公开了一种不产生氯气的酸性蚀刻液，其中主要包括氯化铜、盐酸和水，其特征在于所述酸性蚀刻液中还包括催化剂，按工作液浓度计算，各组分的含量为：氯化铜以铜离子含量计算为80-180g/L；盐酸含量为0.3-5.0mol/L；余量为水；其中，所述催化剂的含量为占酸性蚀刻液质量的0.1%-15%；所述催化剂对酸性蚀刻液中的一价和二价铜离子有络合作用或能生成稳定配合物，并且可以调节反应A向生成二价铜离子的方向移动；A：

主权项

1.一种蚀刻方法，其特征在于包括以下步骤：a）包含催化剂的酸性蚀刻液母液对基材连续蚀刻；b）所述催化剂对酸性蚀刻液母液中的一价和二价铜离子有络合作用或能生成稳定配合物，并且调节反应A向生成二价铜离子的方向移动；c）向酸性蚀刻液母液中添加子液，以维持酸性蚀刻液中铜离子和催化剂的含量，所述铜离子为一价亚铜离子和二价铜离子；反应A：