AMHS暂存区系统

摘要

本发明公开了一种AMHS暂存区系统，其包括至少一个暂存设备；至少一个暂存区硅片盒存取机构，其包括设置于暂存区的安装部、抓取硅片盒的抓手以及连接安装部和抓手的可伸展机械臂。本发明的AMHS暂存区系统，可在暂存区设置一个或数个存取机构，并通过抓手将暂存设备上的硅片盒移动到离目标输送车或目标机台更近的暂存设备，实现各个位置硅片盒的移动，节省输送车存取行驶过程中的时间，从而提高了AMHS系统整体的效率。同时，本发明结构简单，适于工业化。

主权项

一种AMHS暂存区系统，其特征在于，其包括：至少一个暂存设备，布设于AMHS系统机台矩阵中间的暂存区；至少一个暂存区硅片盒存取机构，其包括设置于暂存区的安装部、抓取硅片盒的抓手以及连接安装部和抓手的可伸展机械臂，用以将暂存区某一暂存设备上的硅片盒移动到暂存区的另一暂存设备。