发明名称 |
直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置 |
摘要 |
直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置,直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置,包括挂件和主杆,挂件和主杆固定连接,主杆上设有感应计数装置。感应计数装置包括感应器和数据显示器,数据显示器与主杆滑动连接,数据显示器固定连接有感应器;挂件包括主挂件和设置于主挂件一端的卡爪Ⅱ,主挂件的另一端固定安装有滑动副挂件,滑动副挂件上设有卡爪Ⅰ;主杆上设置有刻度尺。本实用新型设置感应计数装置,可以精确的测量出籽晶行程,准确测量出晶体长度,从而准确算出剩料量,准确判断是否收尾,克服了目测误差较大导致的物料浪费和收尾不稳的问题,提高了成晶率,降低了生产成本。 |
申请公布号 |
CN203462164U |
申请公布日期 |
2014.03.05 |
申请号 |
CN201320512798.9 |
申请日期 |
2013.08.21 |
申请人 |
宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
发明人 |
张鑫;潘永娥;李强 |
分类号 |
C30B15/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/20(2006.01)I |
代理机构 |
西安弘理专利事务所 61214 |
代理人 |
罗笛 |
主权项 |
直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置,其特征在于:包括挂件和主杆,所述挂件和主杆固定连接,所述主杆上设有感应计数装置。 |
地址 |
755100 宁夏回族自治区中卫市中宁县新堡镇团结南路 |