发明名称 | 一种低损耗反射镜 | ||
摘要 | 一种低损耗反射镜,其包括一反射镜基底(1),所述反射镜基底(1)上设置有高低折射率层相互交叠设置的规整四分之一工作波长高反射膜系(4)。其中,高折射率层(2)为奇数层,低折射率层(3)为偶数层,且高折射率层(2)比低折射率层(3)多一层。所述高反射膜系(4)最外侧的高折射率层(2)上设有虚设层(5),所述虚设层(5)厚度为二分之一工作波长。本发明低损耗反射镜通过虚设层(5)设计,提高了反射镜的烘烤温度临界点,改善反射膜层内的色散特性。而且虚设层(5)降低进入高反射膜系(4)的光强强度,提高反射镜抗激光损伤阈值,能较好的保护反射镜高反射膜系(4),提高了反射镜的稳定性和使用寿命。<pb pnum="1" /> | ||
申请公布号 | CN106507977B | 申请公布日期 | 2014.03.05 |
申请号 | CN200910122046.X | 申请日期 | 2009.07.23 |
申请人 | 中国航空工业第六一八研究所 | 发明人 | 刘希强;苏宇;薛青云 |
分类号 | G02B5/08(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/08(2006.01)I |
代理机构 | 中国航空专利中心 11008 | 代理人 | 杜永保 |
主权项 | 一种低损耗反射镜,其包括一反射镜基底(1),所述反射镜基底(1)上设置有高低折射率层相互交叠设置的四分之一工作波长高反射膜系(4),其中,高折射率层(2)为奇数层,低折射率层(3)为偶数层,且高折射率层(2)比低折射率层(3)多一层,其特征在于:所述高反射膜系(4)最外侧的高折射率层(2)上设有虚设层(5),所述虚设层(5)厚度为二分之一工作波长,所述虚设层(5)为低折射率的三氧化二铝层。 | ||
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